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專用圖形發生器組成：

　　高速數字信號處理器（DSP）；

　　高精度圖形數據采集器；

　　先進、快速的SCSI接口帶有溫控的16位數模轉換器（D/A）5”液晶跟蹤顯示器（LCD）控制用PC計算機（Windows操作系統）；

專用圖形發生器軟件功能：

　　接受GDSⅡ、CIF和DXF圖形數據格式；

　　繪圖功能（矩形、三角形、梯形、圓形、圓環、扇 形和任意曲線圖形）；

　　加工過程控制（曝光、工件臺移動、束閘通斷）；

　　掃描場位置、尺寸和旋轉修正；

　　標記檢測與位置修正；

　　鄰近效應修正；

　　加工過程跟蹤顯示；